活性炭在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成,表面抛光达到镜面程度,以减小系数。泵的极限压力为帕,工作压力范围为帕,要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒。此外,尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内,其抽气速率可达到106升/秒以上。
对吸附材料进行表征的物理量主要有:几何形状和颗粒大小分布;表面结构;密度;比表面积;孔径分布、孔容和平均孔径大小等。研究低温泵的吸附材料主要是通过以上参数的表征而进行的。
绝缘性:不受环境及频率的影响,体积电阻可达1018欧姆?厘米,介质损耗小,击穿电压高。
耐高低温性:对温度的影响变化不大,温域范围广,可使用温度-150~260℃。
表面不粘性:已知的固体材料都不能粘附在表面上,是一种表面能小的固体材料。